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检查

我们具备最先端的高速外观检查设备(INSPECTRA,OPTOSCAN)等的高级检查技术。

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与晶圆检查相关的客户的课题

• 公司内部设备无法对应
• 公司内部设备使用日程安排已满,无法使用

SCIVAX 的解决策略提案

• 我们也承接少量(几张起)代工

检查设备列表
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外观检查设备 INSPECTRA

主要用途:对晶圆及薄膜的表面外观进行自动检查

大面积细小缺陷检查设备 OptoScan

● 模板的评估·解析
● 对应各种纹样形状及模板材质(Ni、石英、树脂模等)
● 脱模剂劣化·剥落监测
● 对于成型后的纹样进行均一性评估·解析
● 通过自主技术实现高速·高感度摄像

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